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微電容單通道叉指電極真空探針臺用途介紹

更新時間:2023-03-03點擊次數(shù):1936

 叉指微電極因其微小的電極間距結(jié)構(gòu),可用于各種小型化傳感器。對于傳統(tǒng)分析檢測,包括色譜法、光譜法、質(zhì)譜等方法,大多都需要昂貴的儀器和多種操作步驟,使得許多實際問題仍面臨困難。開發(fā)高靈敏度、低成本、小型化的傳感器尤為重要。本文綜述了叉指微電極的研究進展,介紹了基于叉指微電極的傳感器在各領(lǐng)域的廣泛應用。

 小型真空探針臺鄭科探 KT-Z4019MRL4T是一款性高價比配置的真空高低溫探針臺。

4019.jpg


高溫400 -196 測試噪聲小于5E-13A 可擴展上下雙透視窗口用于光電測試 可擴展凹視鏡。公司致力于各類探針臺,(包括手動與自動探針臺、雙面探針臺、真空探針臺、)、顯微鏡成像、光電一體化的技術(shù)研發(fā),擁有國內(nèi)專業(yè)的技術(shù)研發(fā)團隊,在探針臺電學量測方面擁有近十年的經(jīng)驗團隊。

微電容單通道叉指電極探針臺

4567.jpg

微電容單通道叉指電極探針臺KT-Z4019MRL4T

真空腔體

類型

高溫型室溫到400℃

高低溫型 室溫到400℃    室溫到-196℃

腔體材質(zhì)

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內(nèi)尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG     鋁合金材質(zhì) 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)

腔體抽氣口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體真空測量口

KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)

腔體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口


腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa (5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

不銹鋼 銀銅合金 純銀塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm)

樣品臺測溫傳感器

PT100型熱電阻

樣品臺溫度

室溫到400℃

室溫到400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫100℃/min 最大值     低溫7℃/min

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100   (可選K  S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱

直流線性電源加熱+液氮流速控制器

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數(shù)接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質(zhì)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針(可擴展5探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選)

探針尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm      ±10mm(需手動推動滑臺)

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°      ±60°(需手動旋轉(zhuǎn)探針桿)

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行程

2mm      ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm(需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿)














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